20世紀90年代初，國外曾對高效過濾器玻纖濾紙的含硼問題爭吵了一陣，隨后，過濾器的微量揮發元素成了芯片廠關注的事情。近幾年，國外出現了聚四氟乙烯纖維高效過濾材料，這種材料沒有揮發物，但它是帶靜電的“駐極體”，少了個隱患，多了個麻煩，過濾后的空氣要進行電中和以消除空氣中的離子。目前這種材料的價格偏高，大部分過濾器仍使用玻璃纖維濾紙，過濾器上可能的微量揮發元素主要來源于粘結劑和清洗劑，為芯片廠供貨的空氣過濾器廠商要在這上面下些功夫。當今的空氣過濾技術可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零的狀態，那就是，你想要多干凈的潔凈室，都能達到要求。

化學過濾器：

當芯片上的線寬小到0.5mm時，人們發現空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害，于是，在線寬小于0.5mm的芯片廠空調系統中普遍配置了化學過濾器。化學過濾器的原理和制造工藝并不復雜，它就是活性炭過濾器，但傳統的活性炭過濾器制造廠和軍工廠沒有搭上芯片廠這班車，芯片廠的化學過濾器大都是空調過濾器的制造廠家提供的。化學污染物的來源可能是：室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數情況下，設計師和現場人員也說不清污染物的種類和濃度，因此，為他們提供的化學過濾器至少應具有兩個特點：吸附性能、足夠多的活性炭材料。所謂吸附就是對什么都能多少吸附些，能有這種功能的就是普通、便宜的顆粒活性炭。如果能確定污染物種類，就可以對活性炭材料進行有針對性的化學處理，以增強對特定污染物的吸附能力。過濾器供應商有時還要提供相應的現場檢測服務，以幫助用戶確定化學過濾器的使用情況，這就要求供應商中有搞化學過濾的專家，并與名氣大的化學實驗室有密切的關系。遺憾的是，國內過濾器廠商沒有幾家在那上面下功夫，所以國內芯片廠目前使用的化學過濾器多數是進口產品。半導體工業并非人們普遍認為的“無煙工業”，它也有環境問題。那里經常采用新的工藝和材料，有些化學物品在其安全性尚未得到評估前就已經大量使用了，稍不小心就會造成嚴重的化學污染，既有地下水污染，也有空氣污染，硅谷就曾為此付出過驚人的代價。為了保險，有些企業在排風系統中也使用化學過濾器。

中國正處在新一輪芯片廠建設的狂熱中，為此，今后幾年國內需要數億元的高效過濾器和化學過濾器，以配套半導體行業的發展，這是一個挑戰，也是一個契機。

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