薄膜體聲波諧振器縮寫為FBAR，是近期發(fā)展起來的一種MEMS技術(shù)頻率器件，主要用在射頻領(lǐng)域，作為射頻濾波器、雙工器、多任務(wù)器和振蕩器等。與傳統(tǒng)聲表面波器件相比，具有頻率高、體積小、承受功率大、效率高、可集成化等優(yōu)勢。

薄膜體聲波諧振器存在的雜質(zhì)：

    主要是去除諧振器的基壓及外殼上的油污，還有塵埃的顆粒。

    再則，外殼模板是依靠外殼法蘭邊掛住外殼轉(zhuǎn)換模板定位孔邊沿來實現(xiàn)定位的，無法翻轉(zhuǎn)或較大角度傾斜，清洗污垢的話，如直接用氮氣吹外殼內(nèi)部里面會導(dǎo)致外殼被吹出。

超聲波清洗機(jī)的優(yōu)勢之在：

可以最大程度地清除內(nèi)部污染，從而避免污染影像到產(chǎn)品的性能。

威固特VGT-607FTA超聲波清洗機(jī)對薄膜體聲波諧振器的幫助，從以下內(nèi)容可體現(xiàn)出：

一、概述：

該清洗機(jī)是專為晶體行業(yè)類的產(chǎn)品而設(shè)計的超聲波清洗設(shè)備。整個工藝流程由PLC編程控制，可根據(jù)清洗工藝要求，靈活設(shè)置動作參數(shù)。采用全自動化運(yùn)作過程，清洗效果好，溶劑保持潔凈時間長，實現(xiàn)清洗流程的自動化作業(yè)，降低操作人員勞動強(qiáng)度，提高設(shè)備的生產(chǎn)能力和清洗效果。

二、清洗工藝流程：

自動上料——洗凈超聲清洗——純水超聲清洗——純水超聲波漂洗——純水超聲清洗——純水超聲清洗——純水超聲波漂洗——自動下料。

三、各槽的規(guī)格配置：

1、各清洗槽內(nèi)槽尺寸：（L×W×H）260×310×230mm；

2、所有槽均采用不銹鋼材料制作；

3、所有加熱槽體外側(cè)均貼有保溫材料保溫。

四、機(jī)械臂結(jié)構(gòu)組成：

多臂型機(jī)械臂由機(jī)架、機(jī)械臂傳動系統(tǒng)、吊臂、電氣控制裝置等組成。

機(jī)架：全不銹鋼制作的支撐架結(jié)構(gòu)，焊接在設(shè)備底盤上，以保證機(jī)械強(qiáng)度及機(jī)械臂的穩(wěn)定性。頂部安裝有水平橫移導(dǎo)軌。

橫移傳動系統(tǒng)：采用氣缸配合直線導(dǎo)軌傳動。PLC程序控制動作。保證橫移動作的相對精度和穩(wěn)定性。