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深圳市威固特超聲波科技開發有限公司

超聲波清洗機、純水機、冷水機

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VGT-907FTA太陽能電池硅片超聲波清洗機-威固特

產品價格詢價

產品品牌深圳市威固特超聲波科技開發有限公司

最小起訂≥1 套

供貨總量2 套

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更新日期2021-09-04 19:55

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商品信息

基本參數

品牌:

深圳市威固特超聲波科技開發有限公司

所在地:

廣東 深圳市

起訂:

≥1 套

供貨總量:

2 套

有效期至:

長期有效
詳細說明

型號:VGT-907FTA

產品特點:

1.人機界面,PLC控制;

2.采用單臂機械手,可靈活調節清洗工藝;

3.各清洗槽設置拋動機構,保證清洗效果;

4.采用超聲波清洗、鼓所沖洗等工藝;

5.采用28KHZ40KHZ多頻段超聲波;

6.全封閉機構,外形美觀。

7.設備內部安裝有維修照明燈,方便維修。

8.上下料有專用手推車,方便員工操作

應用范圍:

1爐前清洗:擴散前清洗。

2光刻后清洗:除去光刻膠。

3氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。

4拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。

5外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。

6合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質及光膠殘渣

7離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2

8擴散預淀積后清洗:除去預淀積時的BSGPSG

9外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。

10CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。

技術參數:

超聲波功率:3.5KW

超聲波頻率:28,40,60KHZ

換能器數量:7

電源電壓:220V/380V

技術優勢:

適用于2”-8”基片的半導體清洗工藝中,有效去除硅/晶片表面的有機物、顆粒、金屬雜質、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。根據不同清洗工藝配置相應的清洗單元,各部分有獨立控制,隨意組合。


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