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深圳市威固特超聲波科技開發有限公司

超聲波清洗機、純水機、冷水機

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深圳威固特多晶硅超聲波清洗機廠家

產品價格詢價

產品品牌深圳市威固特超聲波科技開發有限公司

最小起訂≥2 套

供貨總量3 套

瀏覽次數154

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更新日期2021-09-05 13:16

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商品信息

基本參數

品牌:

深圳市威固特超聲波科技開發有限公司

所在地:

廣東 深圳市

起訂:

≥2 套

供貨總量:

3 套

有效期至:

長期有效
詳細說明

型號:VGT-15204FST

產品特點

1、械手或多機械手組合,實現工位工藝要求。

2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。

3、自動上下料臺,準確上卸工件。

4、凈化烘干槽,獨特的烘干前處理技術,工作干燥無水漬。

5、全封閉外殼與抽風系統,確保良好工作環境。

6、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻。

7、全封閉清洗均勻。

8、全封閉外殼與抽風系統,確保良好工作環境。

應用范圍:

多晶硅超聲波清洗加工設備,可廣泛用于IC生產及半導體元器件生產中晶片的濕法化學工藝。該設備可有效去除晶片表面的有機物、顆粒、金屬雜質、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。

爐前(RCA)清洗:擴散前清洗

光刻后清洗:除去光刻膠。

氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所胡的沾污物。

拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。

外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。

合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質及光膠殘渣。

離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層。

擴散預淀積后清洗:除去預淀積時的BSG和PSG。

CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。

附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。

技術參數:

超聲波功率:10.2KW

超聲波頻率:40K/80KHZ

換能器數量:204個

電源電壓:三相五線380V

技術優勢:

因清洗多晶硅需放置于清洗籃/網袋中,網袋會吸能及阻擋部分超聲波,本機采用中高頻超聲波清洗機。中頻超聲能迅速徹底的將污漬震出,高頻超聲能深入縫隙清洗,本機具備中頻超聲波轟擊強度大,清洗速度快的特點,具備高頻超聲穿透性好,密度高的特點,便于穿透網袋作用到產品上,同時增加了加熱功能,產品在熱水中清洗更容易將污漬化開而去除,清洗完成后只需將放水閥打開放出污水即可。

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