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上海伯東美國(guó) HVA 真空插板閥在半導(dǎo)體管道中的應(yīng)用

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2019-12-12 16:40:19    瀏覽次數(shù):307
導(dǎo)讀

半導(dǎo)體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(tǒng) ( 真空管路 ) 的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 上海伯東美國(guó) HVA插板閥廣泛用于高真空或超高真空的氣體輸送環(huán)節(jié), 用來(lái)改變氣流方向, 調(diào)節(jié)氣流量大小, 切斷或接通管路, 起到真空隔離

半導(dǎo)體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(tǒng) ( 真空管路 ) 的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應(yīng)到工藝設(shè)備內(nèi). 上海伯東美國(guó) HVA 插板閥廣泛用于高真空或超高真空的氣體輸送環(huán)節(jié), 用來(lái)改變氣流方向, 調(diào)節(jié)氣流量大小, 切斷或接通管路, 起到真空隔離密封等作用. 美國(guó) HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體氣體管路中! 

                                 半導(dǎo)體管道插板閥應(yīng)用示意圖                                                                          現(xiàn)場(chǎng)圖

真空插板閥

為什么選擇伯東?
伯東公司成立于1953 年,超過65年歷史.

上海伯東所有產(chǎn)品保證100%原裝進(jìn)口, 擁有強(qiáng)大售后服務(wù)團(tuán)隊(duì), 擁有完全的拆解, 維修, 校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù).
上海伯東是美國(guó) HVA 插板閥在中國(guó)地區(qū)唯一指定總代理商.

上海伯東美國(guó) HVA 插板閥優(yōu)勢(shì)
1. 滿足高真空(1E10-9  mabr)和超高真空(1E10-10 mbar)應(yīng)用
2. HVA 插板閥口徑 DN 16 至 800 mm
3. 堅(jiān)固耐用, 超長(zhǎng)使用壽命, 可達(dá) 1,000,000 啟動(dòng)次數(shù)
4. 清潔和高密封性保證 HVA 插板閥與前級(jí)泵, 渦輪分子泵等完美聯(lián)用
5. 雙向密封,最小漏率 < 2x10-9  mbar l/S
6. 可選擇驅(qū)動(dòng)方式多, 手, 氣,電動(dòng)可選
7. 有效保護(hù)分子泵. 氣動(dòng)和電動(dòng)插板閥均帶信號(hào)反饋裝置, 與分子泵和腔體連用時(shí)可以起到截?cái)嘁恍┨厥鈿怏w, 保護(hù)分子泵的作用
8. 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用
9. 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn), 插板閥整機(jī)美國(guó)設(shè)計(jì), 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口

美國(guó) HVA 超過 40年的閥門研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn), 與友廠對(duì)比, HVA 插板閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能.

美國(guó) HVA 插板閥主要型號(hào)

HVA 真空插板閥
HVA 11000 系列
不銹鋼插板閥

HVA 真空插板閥
HVA 21200 系列
不銹鋼插板閥

HVA 真空閘閥
HVA 21700 系列
不銹鋼三位閘閥

HVA 真空插板閥
HVA 71000 系列
不銹鋼插板閥

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空設(shè)備, 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商 .我們真誠(chéng)期待與您的合作!

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上海伯東: 葉女士                               臺(tái)灣伯東: 王女士

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