原標題：臺積電7/6/5nm工藝供不應求 投入巨資購買EUV光刻機 來源：快科技

等大客戶需求。

為此臺積電2020年的資本開支再創新高，2019年臺積電將資本開支提升到了140-150億美元，相比之前增加了40億美元，而2020年至少是150-160億美元，是史上最高的資本支出。

巨額資本主要用于擴增先進工藝產線，除了7nm滿載之外，今年還會有6nm工藝及5nm工藝，尤其是后者，蘋果的A14、華為的海思麒麟1020芯片都會上5nm工藝。

為此臺積電正在加快設備購買，主要受益的廠商就是ASML、KLA科磊、應用材料等公司，他們供應的光刻機、蝕刻機等都是制造芯片的重要裝備。

這其中，ASML的EUV光刻機無疑是最關鍵的，臺積電的第二代7nm工藝、5nm工藝都會大量使用EUV光刻機，這種設備只有ASML能產，每臺售價超過1.2億美元。

根據ASML公司發布的財報，2019年全年一共出貨了26臺EUV光刻機，預計2020年交付35臺EUV光刻機，2021年則會達到45臺到50臺的交付量，是2019年的兩倍左右。